連續式光學(xué)薄膜形成裝置

COFC-1300

COFC-1300是由三個(gè)腔體組成的連續式光學(xué)薄膜鍍膜，可不破壞真空的情況下搬運工件，以實(shí)現連續大量生產(chǎn)光學(xué)濾光片。

特征
無(wú)振動(dòng)傘架搬運系統
中心旋轉系統可提高旋轉精度并抑制顆粒產(chǎn)生
轉速為20rpm，以改善膜厚控制能力
12點(diǎn)式高精度光學(xué)測厚監控儀
水晶微平衡監控儀（最多80個(gè)監測點(diǎn)）
裝載射頻離子源以實(shí)現高品質(zhì)復雜薄膜
自動(dòng)傘架安裝系統（可選自動(dòng)裝載搬運系統，可選額外真空室）
規格
真空腔體（3腔體式） 上片腔體+蒸鍍腔體+下片腔體
（可選上片/下片式）
真空上片/下片腔體（2腔體） 304不銹鋼，
約1500mm (長(cháng)) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
蒸鍍腔體（2個(gè)門(mén)閥） 304不銹鋼，
約1500mm (長(cháng)) × 1500mm (深) × 1560mm (高)
極限真空壓力 ≤1.5 × 10-4 Pa
連續鍍膜的極限真空時(shí)間 ≤5 - 10分鐘 (7.0 × 10-3 Pa)
基板傘架 直徑1200 mm
旋轉速度 5 - 20 rpm
蒸發(fā)源（2個(gè)蒸發(fā)源） 電子槍?zhuān)◣ё詣?dòng)進(jìn)料系統）
射頻離子源 直徑17cm
工作條件
電源要求 3相+G, 200V ± 5％、約140kVA、50/60Hz
冷卻水流量 三個(gè)進(jìn)水口≥200升/分鐘
重量 約25000 kg