ALDER
ALDER-800P
ALDER-800P 是一種等離子 ALD 系統，可在塑料基板上進(jìn)行光學(xué)多層沉積。
- 特征
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在整個(gè)鏡片圓周和 3D 結構上進(jìn)行保形沉積
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可以在 AI2O3、TiO2 和 SiO2 上進(jìn)行薄膜沉積。
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工作盤(pán)成膜量大 Φ100×75片
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等離子工藝可實(shí)現低溫沉積
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通過(guò)優(yōu)化原材料供應和等離子體照射縮短沉積時(shí)間
