HOM1-1

高精度光學(xué)膜厚監控儀

特征

高NA值光學(xué)系統和低噪音電路設計，實(shí)現低噪音，相對值達到 +0.01%

應用高分解能分光光學(xué)系，波長(cháng)分解能達到0.08nm(1550nm)

使用鹵素燈光源，使用波長(cháng)范圍1100nm-1700nm

運用先進(jìn)的成膜計算控制技術(shù),光透過(guò)率的極值監控能力可達+0.01%

規格

型號 HOM1-1

波長(cháng)帶域 1100nm - 1700nm

波長(cháng)分解能 0.08nm

光亮設定分解能 0.001%

光源 鹵素燈

電源 AC100V±10%, 50/60Hz

消費電力 600VA