ALDER
ALDER-800TBS
ALDER-800TBS (A800TBS) 是一種熱模式 ALD 系統，具有大容量負載鎖定機制，可實(shí)現高通量、高均勻性和出色的重現性。
- 特征
-
專(zhuān)為 LED 等高通量 ALD 應用而設計
-
以良好的再現性實(shí)現高度均勻的沉積工藝
-
6 秒以下的快速 ALD 循環(huán)
-
維護周期長(cháng)
