光學(xué)膜厚監控儀

DHOM-T

直接透過(guò)式監控儀

DHOM-T是可直接監控成膜過(guò)程中旋轉基板上的光學(xué)膜厚的光學(xué)膜厚計。 波長(cháng)帶域為350～1100nm與350～2400nm。

特征
可直接監控旋轉基板片上的光學(xué)膜厚
旋轉基板上的監控點(diǎn)可變(鍍膜前調整)
可同時(shí)配備間接控制儀能實(shí)現各層間控制方式切換
規格
型號 DHOM2-T DHOM4-T
波長(cháng)帶域 350 ～ 1100nm 350 ～ 2400nm
測光方式 透過(guò)式
光源 鹵素燈
電源 AC100V ± 10%, 50/60Hz